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真空泵和真空泵机组选型注意事项

  1、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境的影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

  2、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的真空泵或真空机组。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,首先选择耐腐蚀允许部分颗粒或蒸汽的真空泵,还可以考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。

  3、所选真空泵或真空泵机组在其正常工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中所产生的全部气体量,否则影响真空度。

  4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种真空泵不能满足抽气要求,需要几种真泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预抽真空,比如罗茨真空泵(中高真空有较大抽气量);有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。

  5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、干式真空泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。

TAG标签: 真空泵机组

时间:2019-04-09 编辑:美高梅手机版登录 来源:/ 点击:

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